Neue Beschichtungsanlage ist operativ

Seit Juni 2021 ist die Testphase abgeschlossen und die Labor Support Gruppe des Departements Physik arbeitet auf der neuen Beschichtungsanlage  produktiv. Die Anlage «Creamet 450 e-beam» ersetzt ihre technologisch veraltete Vorgängerin.

Beschichtungsanlage der Labor Support Gruppe im Departement Physik der ETH Zürich
Neue Beschichtungsanlage, mit der das Arbeiten Spass macht (Bild: ETH Zürich, Heidi Hostettler)

Die Dienstleistung richtet sich primär an die Forschungsgruppen im Departement Physik. Die Laborsupport-Gruppe bedient bei genügender Kapazität gerne auch Forschungsgruppen aus anderen Departementen.
Es können unterschiedliche Substrate wie Wafer, Gläser, Bauteile für Lötverbindungen, optische Spiegel beschichtet werden. Beschichtet wird zum Beispiel mit Metallen wie Titan, Kupfer, Chrom, Gold, Magnesium, Indium, Silber und Nickel sowie verschiedenen Oxyden, zum Beispiel Aluminiumoxyd, Siliziumoxyd und ITO. Die Labor Support Gruppe gibt gerne weitere Auskunft.
 

Probe aus der Beschichtungsanlage
Probe aus der Beschichtungsanlage (Bild: ETH Zürich, Heidi Hostettler)
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